激光加工装置、加工控制装置以及加工装置

摘要

本发明提供一种激光加工装置、加工控制装置以及加工装置，该激光加工装置在由多个部位的支撑点支撑被加工物的工件支撑台上载置被加工物，并且一边使加工头相对于被加工物在水平方向上移动，一边利用加工头对工件支撑台上的被加工物进行激光加工，具有：倾斜判定部(15)，其基于在对被加工物进行了激光加工的情况下从被加工物分离的预定的制品基片与支撑点之间的位置关系，对制品基片是否在高度方向上发生倾斜而向与激光加工前的被加工物相比位于上侧的加工头侧突出进行判定；以及驱动控制部(17)，其基于倾斜判定部(15)的判定结果，控制在完成制品基片的激光加工后使加工头移动至下一个制品基片的加工位置时的加工头相对于被加工物的高度。

主权项

1.一种激光加工装置，其在由多个部位的支撑点支撑被加工物的工件支撑台上载置激光加工前的所述被加工物，并且，一边使用于向所述被加工物照射激光的加工头相对于所述被加工物在水平方向上移动，一边利用所述加工头对所述工件支撑台上的被加工物进行激光加工，其特征在于，具有：倾斜判定部，其基于在对所述被加工物进行了激光加工的情况下从所述被加工物分离的预定的制品基片与支撑该制品基片的所述工件支撑台的支撑点之间的位置关系，对激光加工后的所述制品基片是否在高度方向上发生倾斜而向与激光加工前的被加工物相比位于上侧的加工头侧突出进行判定；以及加工头控制部，其基于所述倾斜判定部的判定结果，控制在完成所述制品基片的激光加工后使所述加工头移动至下一个制品基片的加工位置时的所述加工头相对于所述被加工物的高度。