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发明名称 SYSTEMS AND METHODS FOR ACHIEVING ISOTHERMAL BATCH PROCESSING OF SUBSTRATES USED FOR THE PRODUCTION OF MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS
摘要
申请公布号 EP1859077(A4) 申请公布日期 2010.03.31
申请号 EP20050849532 申请日期 2005.11.18
申请人 PRIMAXX, INC. 发明人 GRANT, ROBERT, W.
分类号 H01L21/673;C23C16/54;H01L21/00;H01L21/677 主分类号 H01L21/673
代理机构 代理人
主权项
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