研磨装置

摘要

本发明具备：载置台(20)，用于保持衬底W；载置台旋转机构(40)，用于使载置台旋转；研磨头(42)，用于研磨保持在载置台上的衬底的周缘部；控制部(70)，控制载置台(20)、载置台旋转机构(40)及研磨头(42)的动作；图像取得部(61)，通过与衬底的周缘部相对配置的至少1个末端摄像部(60)取得该衬底的周缘部的图像；图像处理部(62)，处理来自图像取得部的图像；及液体喷射部(51)，向衬底的周缘部喷射具有透光性的液体，在衬底的周缘部和末端摄像部之间充满液体。

主权项

1.一种研磨装置，其特征在于，具备：载置台，用于保持衬底；载置台旋转机构，用于使所述载置台旋转；研磨头，用于研磨保持在所述载置台上的衬底的周缘部；控制部，控制所述载置台、所述载置台旋转机构及所述研磨头的动作；图像取得部，通过与所述衬底的周缘部相对配置的至少1个末端摄像部取得该衬底的周缘部的图像；图像处理部，处理来自所述图像取得部的图像；及液体喷射部，向所述衬底的周缘部喷射具有透光性的液体，在所述衬底的周缘部和所述末端摄像部之间充满所述液体。