Vacuun chuck table for sawing apparatus of semiconductor device,申请号KR20080002085U-传众专利搜索

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发明名称	Vacuun chuck table for sawing apparatus of semiconductor device
摘要
申请公布号	KR200448311(Y1)	申请公布日期	2010.03.31
申请号	KR20080002085U	申请日期	2008.02.15
申请人		发明人
分类号	H01L21/687	主分类号	H01L21/687
代理机构		代理人
主权项
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