荧光测量

摘要

本发明描述了用于对荧光进行测量的方法和装置。所述方法包括：测量样品表面的至少一部分的至少一个轮廓，所述表面实质上横穿轴延伸；以及利用辐射来照射样品表面的所述部分以激励荧光。辐射的强度沿着轴随位置而变化。测量指示从样品表面的所述部分发射的荧光的空间强度分布的值。利用测量轮廓对荧光的测量值进行修改，以考虑入射在表面上的辐射强度的空间变化。

主权项

1、一种对来自样品的荧光进行测量的方法，包括以下步骤：测量样品表面的至少一部分的至少一个轮廓，所述表面实质上横穿轴延伸；利用辐射来照射样品表面的所述部分以激励荧光，辐射的强度沿着轴随位置而变化；测量指示从样品表面的所述部分发射的荧光的空间强度分布的值；以及利用所述测量轮廓对荧光的测量值进行修改，以考虑入射在表面上的辐射强度的空间变化。