具门闩及气密结构的前开式晶圆盒

摘要

一种具门闩及气密结构的前开式晶圆盒，主要包括一盒体，盒体内部设有多个插槽以容置多个晶圆，盒体的一侧面形成一开口可供该多个晶圆的输入及输出，以及一门体，是具有一外表面及一内表面，而门体以内表面与盒体的开口相结合，并用以保护置放于盒体内部的多个晶圆，其中前开式晶圆盒的特征在于：门体的内部配置至少一门闩结构且在门体的内表面四周的边缘配置一可充气的气密件。

主权项

1、一种具门闩及气密结构的前开式晶圆盒，主要包括一盒体，该盒体内部是设有多个插槽以容置多个晶圆，且在该盒体的一侧面是形成一开口可供该多个晶圆的输入及输出，以及一门体，是具有一外表面及一内表面，该门体是以该内表面与该盒体的该开口相结合，并用以保护该盒体内部的该多个晶圆，其中该前开式晶圆盒的特征在于：该门体的该内表面与该外表面之间是配置至少一门闩结构且在该门体的该内表面四周的边缘配置一可充气的气密件。