光学式异物检测装置以及搭载它的处理液涂布装置

摘要

本发明提供一种能够高灵敏度地检测异物的光学式异物检测装置以及搭载它的处理液涂布装置。构成为使以水平状态载置在载物台(2)上的被处理基板(1)和具有沿上述基板(1)的宽度方向延伸的狭缝状喷出开口(11b)的处理液供给喷嘴(11)相对地移动，从而将从处理液供给喷嘴(11)带状地喷出的处理液涂布到基板(1)的表面。在上述处理液供给喷嘴(11)的相对移动方向的前方搭载有由光投射部(5)和受光部(6)构成的光透过型传感器单元。提供一种光学式异物检测装置，在沿着上述传感器单元的相对移动方向设定有多个检查区域，通过追溯异物的移动方向的历史记录而对由传感器单元得到的受光数据进行统计，来提高对异物的反应灵敏度。

主权项

1.一种光学式异物检测装置，具备：光透过型传感器单元，其包括沿着载置在载物台上的被处理基板的上表面而投射光束的光投射部以及接收上述光束的受光部；以及相对移动单元，其通过使上述传感器单元相对于被处理基板进行相对移动而使上述光束的光轴沿着被处理基板的上表面平行地进行扫描，该光学式异物检测装置的特征在于，具备：第一单元，在沿着由上述相对移动单元进行的上述传感器单元的相对移动方向设定有多个检查区域，该第一单元按预先确定的每个采样定时测量各个上述检查区域中的每个上述检查区域的上述光束的受光量，从而得到各个检查区域中的每个检查区域的上述受光量的信息；第二单元，其分别运算由上述第一单元得到的各个上述检查区域中的每个检查区域的受光量的信息、与以上述采样定时为单位的过去的同一检查区域的受光量的信息之间的差分，得到各个检查区域中的每个检查区域的上述差分值；第三单元，其从由上述第二单元得到的各个检查区域中的每个检查区域的上述差分值中分别取出按照与上述传感器单元的相对移动历史记录相对应的检查区域顺序依次错开1个采样定时的上述差分值，并对所取出的各差分值进行乘法运算；以及第四单元，其根据由上述第三单元得到的乘法运算输出的绝对值，判断是否存在异物。