| 发明名称 | 金属膜用研磨液及研磨方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种抑制侵蚀和裂缝的发生、被研磨面的平坦性高的金属膜用研磨液及研磨方法。该金属膜用研磨液以及使用该金属膜用研磨液的研磨方法，其特征在于，该金属膜用研磨液包含磨粒、甲基丙烯酸系聚合物和水。 | ||
| 申请公布号 | CN101689494A | 申请公布日期 | 2010.03.31 |
| 申请号 | CN200880023332.4 | 申请日期 | 2008.07.04 |
| 申请人 | 日立化成工业株式会社 | 发明人 | 田中孝明;深泽正人;野部茂;樱田刚史;筱田隆 |
| 分类号 | H01L21/304(2006.01)I;B24B37/00(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/304(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人 | 雒纯丹 |
| 主权项 | 1.一种金属膜用研磨液，其特征在于，包含磨粒、甲基丙烯酸系聚合物和水。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||