抑制大镜面像散变形的支撑装调方法

摘要

一种抑制大镜面像散变形的支撑装调方法，先测量含大镜面的光学系统的波前畸变或大镜面的面型轮廓，数据拟合得到像散变形的方向、大小。用“十”字形或近似“十”字形的支撑、调整方法，调整之后再测前畸变或面型轮廓，数据拟合得到经调整的像散变形的方向、大小。若波前畸变较前减小或面型轮廓更靠近设计结果，则沿之前调整方向再次调整；若波前畸变较前增大或面型轮廓偏离设计结果，则沿之前调整的反方向再次调整。重复前述调整、测量至满足设计要求。本发明解决了背景技术中支撑和调整复杂、难以修正变形误差、分析数据量和难度较大、调整过程缓慢及调整精度低的技术问题。本发明对大镜面装配结构设计要求较低，实现简便。

主权项

1.一种抑制大镜面像散变形的支撑装调方法，其主要包括以下实现步骤：步骤一：测量包含大镜面(1)的光学系统的波前畸变，或者直接测量大镜面(1)的面型轮廓；步骤二：对波前畸变或面型轮廓进行数据拟合，得到像散变形的大小和像散方向(b)；步骤三：在大镜面(1)的支撑面(3)上设置支撑点(4)，使支撑点(4)连线的排列方向(a)与像散方向(b)相垂直或趋近垂直；步骤四：在大镜面(1)的调整面(5)上设置顶拉调整机构，使顶拉调整机构的调整方向与像散方向(b)相同；步骤五：调整顶拉调整机构；然后，测量大镜面(1)或包含大镜面(1)的光学系统的波前畸变，或测量大镜面(1)的面型轮廓；步骤六：判断波前畸变或面型轮廓是否满足设计要求的波前畸变或面型轮廓；步骤七：对波前畸变或面型轮廓进行数据拟合，得到经过调整之后的像散变形的大小和像散方向(b)；步骤八：如果步骤七的波前畸变相对于步骤一的波前畸变进一步减小，或步骤七的面型轮廓与设计要求结果的误差相对于步骤一的面型轮廓与设计要求结果的误差进一步减小，则沿着步骤五的调整方向再次调整顶拉调整机构；如果步骤七的波前畸变相对于步骤一的波前畸变进一步增大，或步骤七的面型轮廓与设计要求结果的误差相对于步骤一的面型轮廓与设计要求结果的误差进一步增大，则沿着与步骤五调整方向相反的方向再次调整顶拉调整机构；步骤九：重复步骤五至八，直至满足设计要求的波前畸变或面型轮廓。