| 发明名称 | 在非对称质量分布情况下具有对称面结构的微机械传感器 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种微机械结构元件，具有带有基底平面的基底和摆动梁形式的振动质量，该振动质量可旋转地悬置于所述基底平面上方，其中，所述摆动梁具有旋转轴，该旋转轴平行于所述基底平面延伸，其中，所述摆动梁具有位于所述旋转轴之外的重心。本发明的关键在于：所述摆动梁被构造为在所述基底平面上的投影中关于所述旋转轴基本上镜像对称。 | ||
| 申请公布号 | CN101683965A | 申请公布日期 | 2010.03.31 |
| 申请号 | CN200910175173.6 | 申请日期 | 2009.09.25 |
| 申请人 | 罗伯特·博世有限公司 | 发明人 | M·拉贝 |
| 分类号 | B81B5/00(2006.01)I;B81B7/02(2006.01)I | 主分类号 | B81B5/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人 | 侯鸣慧 |
| 主权项 | 1.一种微机械结构元件，具有带有基底平面(x；y)的基底(1)和摆动梁(4)形式的振动质量，该摆动梁(4)可旋转地悬置于所述基底平面上方，其中，所述摆动梁(4)具有旋转轴(3)，该旋转轴平行于所述基底平面延伸，其中，所述摆动梁(4)具有位于所述旋转轴(3)之外的重心(10)，其特征在于，所述摆动梁(4)被构造为在所述基底平面上的投影中关于所述旋转轴(3)基本上镜像对称。 | ||
| 地址 | 德国斯图加特 | ||