发明名称 |
在金属基板上制造高效率紫外线垂直式发光二极管的方法 |
摘要 |
提供制造由AlInGaN或AlGaN组成的紫外线(UV)垂直式发光二极管(VLED)结构的方法,该结构较已知AlInGaN或AlGaN发光二极管(LED)结构具有较佳的晶体品质及更快的成长速率。通过在载体基板上形成牺牲性GaN层,接着在该牺牲性GaN层上沉积发光二极管(LED)堆迭而完成。然后在后续处理步骤中移除该牺牲性GaN层。 |
申请公布号 |
CN101689553A |
申请公布日期 |
2010.03.31 |
申请号 |
CN200880022949.4 |
申请日期 |
2008.05.02 |
申请人 |
旭明光电股份有限公司 |
发明人 |
陈长安 |
分类号 |
H01L27/14(2006.01)I |
主分类号 |
H01L27/14(2006.01)I |
代理机构 |
北京三友知识产权代理有限公司 |
代理人 |
任默闻 |
主权项 |
1.一种制造一垂直式发光二极管结构的方法,包括:在一蓝宝石基板上成长一牺牲性GaN层;在所述牺牲性GaN层上形成一发光二极管堆迭,所述发光二极管堆迭包括AlInGaN及AlGaN的至少一者;在所述发光二极管堆迭上沉积一或多层金属基板;移除所述蓝宝石基板;及移除所述牺牲性GaN层。 |
地址 |
台湾省苗栗县 |