发明名称 在金属基板上制造高效率紫外线垂直式发光二极管的方法
摘要 提供制造由AlInGaN或AlGaN组成的紫外线(UV)垂直式发光二极管(VLED)结构的方法,该结构较已知AlInGaN或AlGaN发光二极管(LED)结构具有较佳的晶体品质及更快的成长速率。通过在载体基板上形成牺牲性GaN层,接着在该牺牲性GaN层上沉积发光二极管(LED)堆迭而完成。然后在后续处理步骤中移除该牺牲性GaN层。
申请公布号 CN101689553A 申请公布日期 2010.03.31
申请号 CN200880022949.4 申请日期 2008.05.02
申请人 旭明光电股份有限公司 发明人 陈长安
分类号 H01L27/14(2006.01)I 主分类号 H01L27/14(2006.01)I
代理机构 北京三友知识产权代理有限公司 代理人 任默闻
主权项 1.一种制造一垂直式发光二极管结构的方法,包括:在一蓝宝石基板上成长一牺牲性GaN层;在所述牺牲性GaN层上形成一发光二极管堆迭,所述发光二极管堆迭包括AlInGaN及AlGaN的至少一者;在所述发光二极管堆迭上沉积一或多层金属基板;移除所述蓝宝石基板;及移除所述牺牲性GaN层。
地址 台湾省苗栗县