衬底加热装置

摘要

本发明提供一种衬底加热装置，其包含：室；衬底支撑单元，其经配置以支撑衬底，其中薄膜形成于所述衬底的顶表面上；及加热单元，其安置于毗邻于所述衬底的后表面的区域中。所述加热单元包含：多个反射单元，其布置于所述衬底下面；灯加热单元，其安置于多个反射单元内部；及短波长阻挡层，其安置于灯加热单元上。通过在顶表面上形成有薄膜或图案的所述衬底下面提供所述灯加热单元并将热能供应到所述衬底的后表面，可防止所述薄膜的效率降级，例如薄膜因热源导致的降级或薄膜因衬底与薄膜之间的温度偏差导致的剥离。此外，使热能在所述衬底的后表面的中心区域处广泛地散布，且使热能在衬底的边缘区域处集中，借此均匀地加热大型衬底。

主权项

1、一种衬底加热装置，其包括：室；衬底支撑单元，其经配置以支撑至少一个衬底，所述至少一个衬底在其顶表面上方形成有薄膜；及至少一个加热单元，其安置于毗邻于所述衬底的后表面的区域中，其中所述加热单元包括：多个反射单元，其布置于所述衬底下面；至少一个灯加热单元，其安置于所述多个反射单元内部；及短波长阻挡层，其安置于所述灯加热单元上。