发明名称 |
抓具、特别是伯努利吸盘 |
摘要 |
本发明涉及一种抓具、特别是伯努利吸盘(1),用于抓取平面的构件如硅基的晶片(2),包括:一个与一可控制的机械手臂(3)连接的夹紧环(4);一个经由一喇叭形构件(5)与夹紧环(4)连接的挡盘(6),该挡盘包括一抓取面(7),其与一穿过喇叭形构件(5)和挡盘(6)的流动系统(8)连通,经由该流动系统在伯努利吸盘(1)上施加一超压以后在挡盘(6)的抓取面(7)上产生一负压,用于吸取待抓取的晶片(2);一个支承环(10)的涂橡胶的支承面(9),该支承面内置在抓取面(7)中,通过该支承面提供在抓取面(7)上被吸住的晶片(2)的防滑的移动;和一个传感器(11),用以识别在抓取面(7)上被吸住的晶片(2)。为了实现待抓取的晶片特别防撞击地贴靠在抓具的抓取面上,按本发明设有一环绕地与抓具(1)匹配的缓冲装置(12),该缓冲装置朝抓具(2)的俯视图看去的轮廓在外轮廓上环绕地突出于抓具并且其对于待抓取的晶片(2)在其由吸取引起的向抓取面(7)的接近时形成一个这样的缓冲阻力,使得晶片(2)防撞击地贴靠在支承环(10)的涂橡胶的支承面(9)上。 |
申请公布号 |
CN101687322A |
申请公布日期 |
2010.03.31 |
申请号 |
CN200880018071.7 |
申请日期 |
2008.05.05 |
申请人 |
约纳斯雷德曼自动化技术有限公司 |
发明人 |
S·约纳斯;L·雷德曼 |
分类号 |
B25J15/06(2006.01)I;H01L21/683(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I;F16F7/00(2006.01)I |
主分类号 |
B25J15/06(2006.01)I |
代理机构 |
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 |
代理人 |
沈英莹 |
主权项 |
1.抓具、特别是伯努利吸盘(1),用于无接触抓取平面的构件如硅基的晶片(2),包括:一个与一可控制的机械手臂(3)连接的夹紧环(4);一个经由一喇叭形构件(5)与夹紧环(4)连接的挡盘(6),该挡盘包括一抓取面(7),该抓取面与一穿过喇叭形构件(5)和挡盘(6)的流动系统(8)连通,经由所述流动系统在伯努利吸盘(1)上施加一超压以后在挡盘(6)的抓取面(7)上产生负压,用于吸取待抓取的晶片(2);一个支承环(10)的涂橡胶的支承面(9),该支承面内置在抓取面(7)中,由该支承面提供在抓取面(7)上被吸住的晶片(2)的防滑的移动;和一个传感器(11),用以识别在抓取面(7)上被吸住的晶片(2);其特征在于,设有一环绕地与抓具(1)匹配的缓冲装置(12),该缓冲装置朝抓具(2)的俯视图看去的轮廓在外轮廓上环绕地突出于抓具并且其对于待抓取的晶片(2)在其由吸取引起的向抓取面(7)的接近时形成一个这样的缓冲阻力,使得晶片(2)防撞击地贴靠在支承环(10)的涂橡胶的支承面(9)上。 |
地址 |
德国柏林 |