基板温度控制装置用工作台

摘要

一种使用陶瓷以外的材料作为板片的材料，同时防止板片的热变形，由此低成本且响应性良好的基板温度控制装置用工作台。该基板温度控制装置用工作台是在控制基板温度的基板温度控制装置中用于载置基板的工作台，其特征在于，具备：具有与基板对置的第一面及与该第一面相反侧的第二面的板片；粘接于板片的第二面的面状的加热器，在板片的第一面以第一厚度实施有表面处理，在板片的第二面的规定区域，以比第一厚度薄的第二厚度实施有表面处理或未实施表面处理。

主权项

1.一种基板温度控制装置用工作台，是在控制基板温度的基板温度控制装置中用于载置基板的工作台，其特征在于，具备：具有与所述基板对置的第一面及与该第一面相反侧的第二面的板片；和粘接于所述板片的第二面的面状的加热器，在所述板片的第一面以第一厚度实施有表面处理，在所述板片的第二面的规定区域，以比所述第一厚度薄的第二厚度实施有表面处理或未实施表面处理。