| 发明名称 | 测量光学表面从目标形状偏差的方法 | ||
| 摘要 | 提供对准至少两个波形整形元件的方法、测量光学表面从目标形状的偏差的方法、以及用于干涉测量光学表面从目标形状的偏差的测量设备。波形整形元件的每一个包括用于将入射光的波前的部分与目标形状的相应部分相适应的衍射测量结构，对准至少两个波形整形元件的方法包括如下步骤：向波形整形元件中的第一者提供衍射对准结构；将波形整形元件彼此相对布置，从而在测量设备的操作期间，入射光束的独立的光束子集穿过每一衍射测量结构；以及，通过对连续与衍射对准结构和第二波形整形元件相互作用的对准光进行评估，所述第一波形整形元件以及所述波形整形元件中的第二个关于彼此对准。 | ||
| 申请公布号 | CN101687302A | 申请公布日期 | 2010.03.31 |
| 申请号 | CN200880024274.7 | 申请日期 | 2008.07.08 |
| 申请人 | 卡尔蔡司SMT股份公司 | 发明人 | 拉尔夫·阿诺德;斯蒂芬·舒尔特;伯恩德·多尔班德 |
| 分类号 | B24B13/06(2006.01)I | 主分类号 | B24B13/06(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 邱 军 |
| 主权项 | 1、具有延展所述非球面的直径D的非球面光学表面的非球面，其中，所述非球面光学表面的最佳拟合球面具有曲率半径R，并且参数D和R有如下关系：<maths id="math0001" num="0001" ><math><![CDATA[ <mrow> <mi>D</mi> <mo>></mo> <mn>2</mn> <mi>R</mi> <mo>·</mo> <mi>sin</mi> <mrow> <mo>(</mo> <mi>arctan</mi> <mfrac> <mrow> <mn>500</mn> <mi>mm</mi> </mrow> <mrow> <mn>2</mn> <mi>R</mi> </mrow> </mfrac> <mo>)</mo> </mrow> <mo>.</mo> </mrow>]]></math></maths> | ||
| 地址 | 德国上科亨 | ||