发明名称 PROCEDE DE FABRICATION D'UNE GRILLE SUBMILLIMETRIQUE ELECTROCONDUCTRICE REVETUE D'UNE GRILLE SURGRILLE, GRILLE SUBMILLIMETRIQUE ELECTROCONDUCTRICE REVETUE D'UNE SURGRILLE
摘要 <p>L'invention porte sur la fabrication d'une grille électroconductrice submillimétrique (3) revêtue d'une surgrille sur un substrat (2) avec : - la réalisation d'un masque (1) à ouvertures submillimétriques par le dépôt d'une solution de nanoparticules colloïdales polymériques stabilisées et dispersées dans un solvant, les particules polymériques ayant une température de transition vitreuse Tg et le séchage de la couche de masquage à une température inférieure à Tg jusqu'à l'obtention du masque (10), avec des bords droits, - la formation de la grille électrocondutrice par un dépôt de matériau électroconducteur, dit de grille, - un traitement thermique de la couche de masquage avec le matériau de grille à une température supérieure ou égale à 0,8 fois Tg, créant ainsi un espace entre les bords de zones de masque et les bords latéraux (31) de la grille, -un dépôt d'une couche, dite surcouche, en un matériau dit de surcouche, sur la grille et dans l'espace entre les bords de zones de masque (1) et les bords latéraux (31) de la grille. - un enlèvement de la couche de masquage. L'invention porte aussi sur la grille ainsi obtenue.</p>
申请公布号 FR2936362(A1) 申请公布日期 2010.03.26
申请号 FR20080056448 申请日期 2008.09.25
申请人 SAINT-GOBAIN GLASS FRANCE 发明人 ZAGDOUN GEORGES;NGHIEM BERNARD;ROYER EDDY
分类号 H01L29/40;G02F1/1343;H01L21/283;H01L23/60;H01L31/042;H01L51/56 主分类号 H01L29/40
代理机构 代理人
主权项
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