发明名称 VORRICHTUNG ZUR TEMPERIERTEN AUFBEWAHRUNG EINES BEHÄLTERS
摘要
申请公布号 DE502005009013(D1) 申请公布日期 2010.03.25
申请号 DE200550009013T 申请日期 2005.12.06
申请人 AIXTRON AG 发明人 REINHOLD, MARKUS;STRAUCH, GERHARD KARL
分类号 C23C14/24;C23C16/448 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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