发明名称 Anordnung zur Erzeugung von EUV-Strahlung auf Basis eines Gasentladungsplasmas
摘要
申请公布号 DE102006022823(B4) 申请公布日期 2010.03.25
申请号 DE200610022823 申请日期 2006.05.12
申请人 XTREME TECHNOLOGIES GMBH 发明人 GOETZE, SVEN;GEIER, ALEXANDER;EBEL, HARALD
分类号 H05G2/00 主分类号 H05G2/00
代理机构 代理人
主权项
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