PROTECTIVE LAYERS SUITABLE FOR EXHAUST GASES FOR HIGH-TEMPERATURE CHEMFET EXHAUST GAS SENSORS

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Sensorelements (1), umfassend mindestens ein sensitives Bauelement (3), bei dem eine Maskierungsschicht (31) aus einem rückstandsfrei thermisch zersetzbaren Material auf das sensitive Bauelement (3) aufgebracht wird, wobei das sensitive Bauelement (3) durch die Maskierungsschicht (31) im Wesentlichen vollständig abgedeckt wird, auf die Maskierungsschicht (31) eine Schutzschicht (33) aus einem temperaturstabilen Material aufgebracht wird und die Maskierungsschicht (31) durch Pyrolyse oder ein niedertemperaturgeführtes Sauerstoffplasma entfernt wird. Die Erfindung betrifft weiterhin ein Sensorelement, umfassend mindestens ein sensitives Bauelement (3) und eine Schutzschicht (33) aus einem temperaturstabilen Material, wobei das sensitive Bauelement (3) von der Schutzschicht (33) aus dem temperaturstabilen Material abgedeckt ist, wobei das sensitive Bauelement (3) und die Schutzschicht (33) voneinander beabstandet sind.