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发明名称 Sputtertarget mit hochschmelzender Phase
摘要
申请公布号 DE102006003279(B4) 申请公布日期 2010.03.25
申请号 DE200610003279 申请日期 2006.01.23
申请人 W.C. HERAEUS GMBH 发明人 SCHLOTT, MARTIN;SCHULTHEIS, MARKUS
分类号 C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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