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发明名称
Apparatus for controlling vapour deposition in a vacuum
摘要
申请公布号
US3382842(A)
申请公布日期
1968.05.14
申请号
US19640403772
申请日期
1964.10.14
申请人
EDWARDS HIGH VACUUM INTERNATIONAL LIMITED
发明人
STECKELMACHER WALTER;ENGLISH JAMES;BATH HUGH H. A.
分类号
C23C14/54;G05D5/03
主分类号
C23C14/54
代理机构
代理人
主权项
地址
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