移动体驱动系统、图案形成装置、曝光装置及曝光方法、以及器件制造方法

摘要

载台装置，具备：第1标尺(46B，46D)，以Y轴方向为长边方向配置在载台(WST)所对向的面上，且形成有以X轴方向为周期方向的第1光栅；以及第2标尺(46A，46C)，以X轴方向为长边方向所配置，形成有周期方向与第1光栅正交的第2光栅。又，在载台上面，设有使在X轴方向的位置不同地配置的多个X读头(66₁～66₅)与使在Y轴方向的位置不同地配置的多个Y读头(64₁～64₅)。具有这些读头的编码器系统，根据对向于第1标尺的X读头的输出与对向于第2标尺的Y读头的输出，算出载台在XY平面内的位置信息。

主权项

1.一种移动体驱动系统，实质地沿既定平面驱动移动体，其特征在于，具备：第1标尺，以第1方向为长边方向配置在上述移动体所对向的与上述既定平面平行的第1面上，形成有以上述第1方向或与该第1方向垂直的第2方向为周期方向的第1光栅；第2标尺，以上述第2方向为长边方向配置在上述第1面，形成有周期方向与上述第1光栅正交的第2光栅；测量系统，具有：第1读头群，包含以上述第2方向的位置不同地配置在上述移动体的与上述既定平面实质平行的第2面，且以上述第1光栅的周期方向为测量方向的多个第1读头；以及第2读头群，包含以上述第1方向的位置不同地配置在上述移动体的上述第2面，且以上述第2光栅的周期方向为测量方向的多个第2读头，该测量系统根据对向于上述第1标尺的上述第1读头的输出与对向于上述第2标尺的上述第2读头的输出，算出上述移动体在包含上述第1及第2方向的上述既定平面内的至少两个自由度方向的位置信息；以及驱动系统，根据上述测量系统所算出的位置信息，将上述移动体沿上述既定平面驱动。