发明名称 | 晶棒提拉的截面成型构造 | ||
摘要 | 本实用新型晶棒提拉的截面成型构造,在长晶炉抽拉制造晶棒时,在坩埚上的开口处装设一个热惟幕,此热惟幕设有一个呈接近多边形轮廓的开口,由此开口可控制长晶时的气流、热传导及热辐射,并且在开口形状的控制下,使长晶时的凝固温度的等温线趋近于所需多边形的形状,进而令晶体长成具有较接近预设多边形的截面形状,以减少晶棒在后续制造成为晶片时所需切除的材料。 | ||
申请公布号 | CN201428007Y | 申请公布日期 | 2010.03.24 |
申请号 | CN200820180535.1 | 申请日期 | 2008.12.03 |
申请人 | 昆山中辰矽晶有限公司 | 发明人 | 蓝崇文;徐文庆;谢兆坤;王兴邦;何思桦 |
分类号 | C30B15/22(2006.01)I | 主分类号 | C30B15/22(2006.01)I |
代理机构 | 北京申翔知识产权代理有限公司 | 代理人 | 周春发 |
主权项 | 1、一种晶棒提拉的截面成型构造,其特征在于,在坩埚开口处设有一个用以控制热流通过长晶热场方式的热惟幕。 | ||
地址 | 215316江苏省昆山开发区高科技工业园汉浦路303号 |