发明名称 用于制造半导体器件的方法
摘要 本发明的目的是提供一种半导体器件,具体地,提供一种可通过湿法容易地制造的发光元件。本发明的一个特征是包含晶体管和发光元件的发光器件。在所述发光元件中,有机层、发光层、以及第二电极被顺序地形成在第一电极上,并且晶体管通过布线与发光元件电连接。这里,所述布线包含铝、碳和钛。所述有机层是通过湿法形成的。与所述有机层相接触的第一电极是用包含氧化钛的氧化锡铟制成的。
申请公布号 CN101677083A 申请公布日期 2010.03.24
申请号 CN200910204204.6 申请日期 2005.06.10
申请人 株式会社半导体能源研究所 发明人 山崎舜平;秋元健吾
分类号 H01L21/82(2006.01)I;H01L51/56(2006.01)I;H01L27/32(2006.01)I 主分类号 H01L21/82(2006.01)I
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人 申发振
主权项 1.一种用于制造半导体器件的方法,包括:形成包含导电材料和氧化钛的导电膜;用光线照射所述导电膜的至少一部分;在照射光线之后将液体涂覆到所述导电膜的表面上;以及使涂覆到所述导电膜上的液体干燥以形成膜。
地址 日本神奈川