| 发明名称 | 用于牺牲层释放的二氧化碳固态升华装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种用于牺牲层释放的二氧化碳固态升华装置，该装置至少包括过滤器(1)、暂存罐(2)、恒流恒压泵(3)、流量计(4)、主工作腔室(5)、温度压力控制装置(7)和分离器(10)，其中，过滤器(1)、暂存罐(2)、恒流恒压泵(3)、流量计(4)、主工作腔室(5)和分离器(10)依次连接，温度压力控制装置(7)连接于主工作腔室(5)，分离器(10)连接于过滤器(1)，分离器(10)与过滤器(1)构成循环回路。利用本实用新型，有效地解决了牺牲层释放工艺中的粘连效应。同时，二氧化碳在相态转换时压力可调，消除了有机置换液凝固时的涨裂现象。二氧化碳的使用更加绿色环保，无有机污染，节约资源。 | ||
| 申请公布号 | CN201427858Y | 申请公布日期 | 2010.03.24 |
| 申请号 | CN200920107674.6 | 申请日期 | 2009.05.06 |
| 申请人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明人 | 景玉鹏;惠瑜;高超群 |
| 分类号 | B81C1/00(2006.01)I | 主分类号 | B81C1/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 周国城 |
| 主权项 | 1、一种用于牺牲层释放的二氧化碳固态升华装置，其特征在于，该装置至少包括过滤器(1)、暂存罐(2)、恒流恒压泵(3)、流量计(4)、主工作腔室(5)、温度压力控制装置(7)和分离器(10)，其中，过滤器(1)、暂存罐(2)、恒流恒压泵(3)、流量计(4)、主工作腔室(5)和分离器(10)依次连接，温度压力控制装置(7)连接于主工作腔室(5)，分离器(10)连接于过滤器(1)，分离器(10)与过滤器(1)构成循环回路。 | ||
| 地址 | 100029北京市朝阳区北土城西路3号 | ||