| 发明名称 | 驱动装置、液体喷头及液体喷射装置 | ||
| 摘要 | 一种驱动装置、液体喷头及液体喷射装置，该驱动装置，具备变位自如地设置在基板(10)上且由下电极(60)、压电体层(70)及上电极(80)构成的压电元件(300)，并且，使所述下电极(60)的杨氏模量为200Gpa以上，从而防止因压电元件(300)的反复驱动引起的变位降低。 | ||
| 申请公布号 | CN100595942C | 申请公布日期 | 2010.03.24 |
| 申请号 | CN200710091649.9 | 申请日期 | 2007.04.03 |
| 申请人 | 精工爱普生株式会社 | 发明人 | 高部本规;角浩二;野口元久;横山直人;齐藤刚 |
| 分类号 | H01L41/08(2006.01)I;H01L41/09(2006.01)I;H01L41/047(2006.01)I;B41J2/14(2006.01)I;B41J2/045(2006.01)I | 主分类号 | H01L41/08(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 李贵亮 |
| 主权项 | 1、一种驱动装置，其中，具备经由绝缘体膜设置在基板上且由下电极、压电体层及上电极构成的压电元件，所述下电极由合金构成，该合金包含铂、氧及钛且所述钛相对所述铂的含有率为3～30％，并且，所述下电极的杨氏模量为200Gpa以上，所述下电极的韧性在所述绝缘体膜的韧性以上且为6MN/m2/3以上。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||