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发明名称 SELF-ALIGNED DRAIN/CHANNEL JUNCTION IN VERTICAL PASS TRANSISTOR DRAM CELL DESIGN FOR DEVICE SCALING
摘要
申请公布号 EP1661176(A4) 申请公布日期 2010.03.24
申请号 EP20040780833 申请日期 2004.08.12
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 WANG, GENG;MCSTAY, KEVIN;WEYBRIGHT, MARY, ELIZABETH;LI, YUJUN;CHIDAMBARRAO, DURESETI
分类号 H01L21/8234;H01L21/265;H01L21/336;H01L21/8242;H01L29/10 主分类号 H01L21/8234
代理机构 代理人
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