硅片传输过程的调度方法

摘要

本发明公开了一种硅片传输过程的调度方法，首先计算多个硅片中的任一硅片从第i个结点到第j个结点的传输代价S[i][j]，然后计算所述硅片从i个结点到第k个结点，再从第k个结点到第j个结点的传输代价S[i][k]+S[k][j]，比较S[i][j]与S[i][k]+S[k][j]的大小，如果S[i][j]＞S[i][k]+S[k][j]，则用S[i][k]+S[k][j]取代S[i][j]，依次类推，最后得到硅片从i个结点到第j个结点的最小传输代价S[i][j]min，即最短路径。硅片传输合理、制造周期短、生产效率高，主要适用于半导体硅片加工过程中，调度多个硅片在硅片加工设备中的传输。

主权项

1、一种硅片传输过程的调度方法，用于调度多个硅片在硅片加工设备中的N个结点中的传输路径，其中N为正整数，其特征在于，包括步骤：A、首先计算多个硅片中的任一硅片从第i个结点到第j个结点的传输代价S[i][j]，其中1≤i、j≤N；B、计算所述硅片从i个结点到第k个结点，再从第k个结点到第j个结点的传输代价S[i][k]+S[k][j]，其中1≤k≤N；C、比较S[i][j]与S[i][k]+S[k][j]的大小，如果S[i][j]＞S[i][k]+S[k][j]，则用S[i][k]+S[k][j]取代S[i][j]，依次类推，取k＝1～N的所有数值，最后得到所述硅片从i个结点到第j个结点的最小传输代价S[i][j]min；所述的结点包括以下至少两个结点：第一片仓P1；第二片仓P2；第三片仓P3；定位校准装置AL2；第一真空锁LA；第二真空锁LB；大气机械手AFE；真空机械手VBE；第一反应腔室PM1；第二反应腔室PM2；第三反应腔室PM3；第四反应腔室PM4；所述的传输代价S[i][j]包括以下至少一项：AFE取片时间＝AFE水平移动时间+AFE垂直移动时间+AFE伸臂时间+AFE缩臂时间；AFE放片时间＝AFE水平移动时间+AFE垂直移动时间+AFE伸臂时间+AFE缩臂时间；AL2对硅片定位校准时间；LA和/或LB抽真空时间；LA和/或LB充大气时间；VBE取片时间＝VBE旋转时间+VBE伸臂时间+VBE缩臂时间；硅片在PM1、PM2、PM3、PM4中进行加工工艺时间。