MEMS麦克风

摘要

本发明涉及一种麦克风，具体指一种应用于电子设备上，具有更加稳定性能的MEMS(Micro-Electro-Mechanical-System Microphone)麦克风。它在基板内部设有声音通道，该声音通道分别与进声孔的外部空间和MEMS芯片的凹陷部贯通，构成一完整的进声空间，在基板上设有防电磁等其他干扰的屏蔽罩，屏蔽罩与基板形成背部声腔，该声腔空间明显增大不在受基板的限制，从而使微机电系统传声器封装后的频响特性和开路灵敏度最小，屏蔽罩屏蔽了其他的外界干扰，这样麦克风的性能更加稳定。

主权项

1、一种MEMS麦克风，包括：一带进声孔的上盖板、一壳壁、环绕并支撑上盖板；一基板，其上安装有相互电连接的MEMS芯片和专用集成电路ASIC芯片，所述的基板支撑壳壁和上盖板；其特征在于：所述基板的内部设有声音通道，该声音通道分别与上盖板的进声孔和MEMS芯片的凹陷部贯通，基板上还设有将MEMS芯片和专用集成电路ASIC芯片罩住的屏蔽罩，屏蔽罩与基板构成的空间为背部声腔。