发明名称 半导体激光装置及其制造方法
摘要 本发明公开了一种半导体激光装置及其制造方法。半导体激光装置包括:主面的晶面方位为(1-100)的基板(11),形成在基板(11)上且具有条状光波导部的半导体叠层体(12),以及形成在基板(11)上的出射端面的至少一部分的多个锥状突起部(13)。出射端面的晶面方位为(000-1)。
申请公布号 CN101682171A 申请公布日期 2010.03.24
申请号 CN200980000087.X 申请日期 2009.01.08
申请人 松下电器产业株式会社 发明人 小野泽和利;田村聪之
分类号 H01S5/343(2006.01)I;H01S5/22(2006.01)I 主分类号 H01S5/343(2006.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 代理人 汪惠民
主权项 1.一种半导体激光装置,是用氮化物半导体构成的端面出射式半导体激光装置,其特征在于:包括:基板,由六方晶氮化物半导体形成,主面的晶面方位为(1-100),半导体叠层体,形成在所述基板上,具有条状光波导部,以及多个锥状突起部,形成在所述基板上的出射端面的至少一部分;所述出射端面的晶面方位为(000-1)。
地址 日本大阪府