移动体系统、图案形成装置、曝光装置及测量装置、以及器件制造方法

摘要

本发明提供一种移动体系统，具备：具有沿XY平面移动的载台本体(91)、在该载台本体上可微动于与XY平面正交的方向(Z轴方向)及对XY平面倾斜的方向上的台(WTB)的载台(WST)，测量在XY平面内的载台(WST)的位置信息的测量装置。测量装置具有设于台(WTB)的多个编码器读头(60C等)、与各读头对置地将端部设于载台本体(91)且在端部处光轴与Z轴方向实质平行的光纤(24、26)，根据和与XY平面实质平行配置的光栅部(RG)对置的读头的输出，测量载台(WST)的位置信息。并在各读头与光纤的端部之间进行信号的空中传输。

主权项

1、一种移动体系统，包含沿既定平面移动的移动体，该移动体系统具备：移动体，具有沿上述既定平面移动的本体部、以及在该本体部上至少可微动于与上述既定平面正交的方向及对上述既定平面倾斜的方向上的台构件；以及测量装置，具有设于上述台构件的多个编码器读头，根据和在上述移动体外部与上述既定平面实质上平行地配置的光栅部对置的至少1个编码器读头的输出，测量在上述既定平面内的上述移动体的位置信息；上述测量装置具有在各上述多个编码器读头与其外部的构成部分之间以无线通信方式进行测量光和/或信号的收发的收发装置。