数据显示装置、数据显示方法、程序

摘要

本发明要解决的技术问题是：在以前的数据显示装置中无法适当地显示半导体过程中测量的数据等时间序列数据。包括：第一显示部(1307)，将作为与半导体过程的处理时状态有关的时间序列数据的多个过程相关数据与时间轴对应地以第一显示宽度显示；范围指定接受部(1308)，接受所述第一显示部(1307)所显示的过程相关数据中的一部分的范围即显示对象范围的指定；以及第二显示部(1310)，从多个过程相关数据的每个中取得作为与显示对象范围对应的期间的显示期间内的过程相关数据，并与时间轴对应地以比所述显示对象范围的宽度宽的第二显示宽度显示；第一显示部(1307)将表示显示对象范围的信息与第一显示部(1307)显示的一套以上的过程相关数据对应地显示。

主权项

1.一种数据显示装置，其中，包括：存储部，能够存储多套作为与半导体过程的处理时状态有关的时间序列数据的过程相关数据；数据取得部，从所述存储部中取得一套以上的过程相关数据；第一显示部，将所述数据取得部所取得的一套以上的过程相关数据与时间轴对应地以第一显示宽度显示；范围指定接受部，接受所述第一显示部所显示的所述过程相关数据中的一部分的范围亦即显示对象范围的指定；显示数据取得部，从所述多套过程相关数据的每个中取得显示期间内的过程相关数据，该显示期间是与所述显示对象范围对应的期间；以及第二显示部，将所述显示数据取得部所取得的所述显示期间内的多串过程相关数据与时间轴对应地以比所述显示对象范围的宽度宽的第二显示宽度显示；其中，所述第一显示部还将所述范围指定接受部所接受的表示显示对象范围的信息与该第一显示部显示的所述一套以上的过程相关数据对应地显示。