发明名称 |
XY工作台动作执行器 |
摘要 |
一种XY工作台动作执行器,能够以充分的推力使可动板(5)在XY平面内自由移动且能够定位,同时能够简单地且以低成本制作,所述XY工作台动作执行器通过叠置固定板(2)、中间板(4)、可动板(5)构成,其中,在上述固定板(2)和中间板(4)之间配置相对于上述固定板(2)向X方向推动中间板(4)的X方向驱动机构,另一方面,在上述中间板(4)和可动板(5)之间设置相对于中间板(4)向Y方向推动可动板(5)的Y方向驱动机构(7),通过将形成为大致槽状的固定板(2)及可动板(5)和大致平板状的中间板(4)叠置,在固定板(2)和中间板(4)之间形成了上述X方向驱动机构的收容室(60),在中间板(4)和可动板(5)之间形成了上述Y方向驱动机构的收容室(70)。 |
申请公布号 |
CN101681683A |
申请公布日期 |
2010.03.24 |
申请号 |
CN200880018131.5 |
申请日期 |
2008.05.27 |
申请人 |
THK株式会社 |
发明人 |
木村吉宏;浅生利之;石井正志 |
分类号 |
G12B5/00(2006.01)I;B23Q1/62(2006.01)I |
主分类号 |
G12B5/00(2006.01)I |
代理机构 |
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 |
代理人 |
史雁鸣 |
主权项 |
1.一种XY工作台动作执行器,所述XY工作台动作执行器由固定板(2)、叠置在该固定板(2)上同时相对于该固定板(2)向X方向自由移动的中间板(4)、叠置在该中间板(4)上同时相对于该中间板(4)向Y方向自由移动的可动板(5)、相对于上述固定板(2)向X方向推动中间板(4)的X方向驱动机构、相对于上述中间板(4)向Y方向推动上述可动板(5)的Y方向驱动机构(7)构成;上述固定板(2)及可动板(5)具有经收容槽(20)相向的一对侧壁(20a)而分别形成为大致槽状,另一方面,上述中间板(4)形成为大致平板状;通过使上述固定板(2)及可动板(5)的收容槽(20)与上述中间板(4)相向地将上述三者叠置,在固定板(2)和中间板(4)之间形成上述X方向驱动机构的收容室(60),同时,在中间板(4)和可动板(5)之间形成上述Y方向驱动机构(7)的收容室(70)。 |
地址 |
日本东京 |