承载装置及沉积机台的监测方法

摘要

本发明公开了一种承载装置及沉积机台的监测方法。该承载装置适于配置在沉积机台中以承载一晶片。此承载装置包括承载座、沉积环以及侦测单元。承载座用以放置晶片于其上。沉积环配置于承载座的外围表面上。侦测单元包括至少一个第一电极、至少一个第二电极、信号输出部与信号接收部。第一电极与第二电极分别配置于承载座的表面，且第一电极与第二电极互不接触。信号输出部连接第一电极，以输出一信号。信号接收部连接第二电极，其中通过信号接收部是否接收到此信号，以判断第一电极与第二电极是否电性连接在一起。

主权项

1、一种承载装置，适于配置在一沉积机台中以承载一晶片，包括：一承载座，用以放置该晶片于其上；一沉积环，配置于该承载座的外围表面上；以及一侦测单元，包括：至少一第一电极与至少一第二电极，分别配置于该承载座的表面，且该第一电极与该第二电极互不接触；一信号输出部，连接该第一电极，以输出一信号；以及一信号接收部，连接该第二电极，其中通过该信号接收部是否接收到该信号，以判断该第一电极与该第二电极是否电性连接在一起。