光波导路装置的制造方法和由该方法获得的光波导路装置

摘要

本发明提供一种即使在PET制基板的正面形成光波导路，也能抑制该光波导路的芯侧面的粗糙面化的光波导路装置的制造方法和由该方法获得的光波导路装置。在由PET制基板部分和形成在该PET制基板部分的背面、吸收照射线的颜色的着色层构成的带有着色层的PET制基板的正面经过形成下敷层、形成芯形成用感光性树脂层后，对该感光性树脂层照射照射线，曝光成规定图案，将该曝光部分形成芯。在该芯形成工序中，照射线到达PET制基板部分的底面时，几乎都被该着色层吸收，几乎不存在在PET制基板部分的底面进行反射的照射线。由此能大幅度减少在PET制基板部分进行漫反射而到达感光性树脂层的照射线，能有效地抑制芯侧面的粗糙面化。

主权项

1.一种光波导路装置的制造方法，包括：在由以聚对苯二甲酸乙二醇酯为主成分的材料构成的基板的正面形成下敷层的工序；在该下敷层的正面形成芯形成用感光性树脂层的工序；对该感光性树脂层照射照射线，曝光成规定的图案，将该曝光部分形成芯的工序，其特征在于，在上述芯形成工序中，对上述感光性树脂层照射的照射线是透过该感光性树脂层经过上述基板的正面到达底面、并在此进行反射的照射线，上述基板是下述(A)和(B)中的任一种基板：(A)在背面形成有吸收上述照射线的颜色的着色层的带有着色层的基板；(B)整体以吸收上述照射线的颜色着色的着色基板。