| 发明名称 | 延伸SCARA机械手臂连接的方法及设备 | ||
| 摘要 | 本发明提供使用双选择性顺应组件机械手臂叶片(SelectiveCompliant Assembly Robot Arm；SCARA)的机械手臂的方法及设备。在某些实施例中，提供二SCARA，每一SCARA包括一肘管接头，其中该二SCARA为垂直堆栈，故一SCARA为第一臂而另一SCARA为第二臂，及其中该第二臂适于支撑第一基材，及当该第二臂支撑该第一基材时该第一臂为适于延伸至全长，及其中由该第二臂支撑的该第一基材为与该第一臂的肘管接头共平面，及该第二臂更适于与第一臂同时并行(及/或在一协调模式)移动一足够量以避免在该第一基材及第一臂的肘管接头间的干扰。本发明提供多个其它实施例。 | ||
| 申请公布号 | CN101678974A | 申请公布日期 | 2010.03.24 |
| 申请号 | CN200880017949.5 | 申请日期 | 2008.05.29 |
| 申请人 | 应用材料股份有限公司 | 发明人 | D·K·考克斯;M·L·弗利曼;J·M·舒浩勒;J·C·胡金斯;J·A·布洛迪尼 |
| 分类号 | B65H1/00(2006.01)I | 主分类号 | B65H1/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 陆 嘉 |
| 主权项 | 1.一种双选择性顺应组件机械手臂叶片(SCARA)的机械手臂，其包含：二SCARA，各自包含肘管接头，其中该二SCARA为垂直堆栈，故一SCARA为第一臂而另一SCARA为第二臂，及其中该第二臂适于支撑第一基材，及当该第二臂支撑该第一基材时该第一臂为适于延伸至全长，及其中由该第二臂支撑的该第一基材为与该第一臂的肘管接头共平面，及该第二臂更适于与第一臂同时移动且协调足够量以避免在该第一基材及该第一臂的肘管接头间的干扰。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||