用于检测光掩模形状不一致断裂的方法和设备

摘要

本发明的一个实施方式提供了一个系统，用于检测被断裂为与期望配置不同的基本形状的配置的给定形状的出现。该系统选择给定形状的断裂形状实例，其中将给定形状的其他断裂形状实例与之比较。作为比较过程的一部分，系统产生包括掩模图形描述中与所选断裂形状实例中的至少一个基本形状匹配的基本形状的已过滤掩模图形描述。接下来，系统从已过滤掩模图形描述中识别与给定形状匹配的第一形状出现组，并且从掩模图形描述中识别与给定形状匹配的第二形状出现组。系统然后通过在第一形状出现组和第二形状出现组之间执行异或比较产生第三形状出现组。

主权项

1.一种用于检测被断裂为与期望配置不同的基本形状的配置的形状出现的方法，包括：在第一掩模图形描述中选择断裂形状实例，其中断裂形状实例代表第一形状的断裂，其中断裂形状实例包括以特定配置排列的一组基本形状，并且其中第一掩模图形描述包括多个第一形状的出现；产生已过滤掩模图形描述，其包括第一掩模图形描述中与该基本形状组中的至少一个基本形状匹配的基本形状；从已过滤掩模图形描述识别与第一形状匹配的第一形状出现组；从第一掩模图形描述识别与第一形状匹配的第二形状出现组；以及产生第三形状出现组，包括：来自第一形状出现组但不在第二形状出现组中的形状出现，和来自第二形状出现组但不在第一形状出现组中的形状出现；其中第三形状出现组促进了识别与断裂形状实例不同地被断裂的第一形状的出现。