采用粒子束处理材料的方法和如此处理的材料

摘要

本发明涉及采用粒子束处理材料的方法和如此处理的材料，具体而言涉及本文提供了采用粒子束加工装置处理材料的方法和由该方法制备的材料。根据一个说明性实施方案，提供了一种采用粒子束加工装置处理材料的方法，该方法包括：提供包括至少一个产生多个粒子的灯丝的粒子束产生组件；向灯丝施加大于约110kV的操作电压以产生所述多个粒子；使所述多个粒子穿过厚度为约10微米或更少的薄箔片；和采用所述多个粒子处理材料。

主权项

1.用于采用多个粒子来处理材料的粒子束加工装置，包括：电源；连接到所述电源的粒子束产生组件，所述电源在大于110kV的第一操作电压操作，所述粒子束产生组件包括至少一个用于产生所述多个粒子的灯丝；箔片支撑组件，包括厚度为10微米或更小的薄箔片并且在第二操作电压操作，使得所述多个粒子穿透薄箔片，从而用所述多个粒子处理所述材料。