| 发明名称 | 夹持装置和物体加载方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种夹持装置，其配置用以将物体(20，120)夹持在支撑件(1，101)上。夹持装置包括：第一装置，其配置用以采用第一力驱使物体和支撑件彼此离开；和第二装置，其配置用以采用第二力驱使物体和支撑件朝向彼此。第一装置和第二装置配置成在完成物体在支撑件上的夹持之前，同步地分别施加第一力和第二力以将物体成形为所需形状。 | ||
| 申请公布号 | CN101681124A | 申请公布日期 | 2010.03.24 |
| 申请号 | CN200880021208.4 | 申请日期 | 2008.06.20 |
| 申请人 | ASML荷兰有限公司 | 发明人 | R·T·P·克姆蓬;J·H·W·雅各布斯;M·H·A·李恩德尔斯;J·J·奥腾斯;M·F·P·斯密特斯 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 王新华 |
| 主权项 | 1.一种夹持装置，其配置用以将物体(W，20)夹持在支撑件(WT)上，所述夹持装置包括：第一装置，其配置用以采用第一力驱使所述物体和所述支撑件彼此离开，和第二装置，其配置用以采用第二力驱使所述物体和所述支撑件朝向彼此，其中所述第一装置和所述第二装置配置成在完成所述物体在所述支撑件上的夹持之前同步地分别施加所述第一力和所述第二力，以将所述物体成形为所需形状。 | ||
| 地址 | 荷兰维德霍温 | ||