用于处理全氟碳化物的物理和化学协同净化系统

摘要

用于处理全氟碳化物的物理和化学协同净化系统，在待处理气体输入口处设置有一流量控制器，流量控制器通过管路与石英管反应器连接，反应器中采用微波激发并维持微波等离子体，石英管反应器的内壁上预先涂抹并固化一层催化剂薄膜；所述的等离子体由微波发生器通过波导管提供能量，波导管和石英管反应器采用中心点直接耦合方式，等离子体为等离子体炬形，按照气体流入的方向在石英管反应器后部设置有湿式吸收装置。本实用新型具有污染气体脱除效率高，节省能源，无二次污染的特点。

主权项

1、用于处理全氟碳化物的物理和化学协同净化系统，其特征在于主要包括以下装置：在待处理气体输入口(1)处设置有一流量控制器(2)，流量控制器(2)通过管路与石英管反应器(3)连接，反应器中采用微波激发并维持微波等离子体(5)，石英管反应器(3)的内壁上预先涂抹并固化一层催化剂薄膜(4)；所述的等离子体(5)由微波发生器(8)通过波导管(7)提供能量，波导管(7)和石英管反应器(3)采用中心点直接耦合方式，等离子体为等离子体炬形，按照气体流入的方向在石英管反应器(3)后部设置有湿式吸收装置(6)。