| 主权项 |
1.一种混合型分配系统，其用于将两种流体沉积物分配和沉积在基板的两个纵向间隔的区域上，所述基板沿着纵向延伸的流路相对于所述混合型分配系统移动，该系统包括：纵向延伸的流路，流体沉积物将要沉积在上面的基板适于沿着所述流路移动；计量站，设置在沿着所述纵向延伸的基板流路所限定的第一位置上；流体入口，安装在所述计量站上用于提供将要分配的流体给所述计量站；多个泵，设置在所述计量站用于独立地输出多股流体流；计量头，设置在所述计量站上，所述计量站沿所述纵向延伸的基板流路设置在所述第一位置上；至少一个计量头分配模块，安装在被设置于沿着所述纵向延伸的基板流路所限定的所述第一位置上的所述计量头上，并且具有设置在其上的分配喷嘴，用于将第一流体沉积物分配在基板的第一区域上，并且与设置在所述计量站上的所述多个泵中的第一个泵流体连接，以接受来自于所述多个泵中的所述第一个泵的所述多种流体流中的第一流体流；至少一个涂覆器头，设置在沿着所述纵向延伸的基板流路所限定的第二位置上，该第二位置与沿着所述纵向延伸的基板流路的所述第一位置纵向远离，在该第一位置上设置所述计量站；至少一个涂覆器头分配模块，安装在被设置于沿着所述纵向延伸的基板流路所限定的所述第二位置上的所述至少一个涂覆器头上，该第二位置与沿着所述纵向延伸的基板流路的所述第一位置纵向远离，在该第一位置上设置所述计量站，并且所述至少一个涂覆器分配模块具有设置在其上的分配喷嘴，用于将第二流体沉积物沉积在所述基板的第二区域上，该第二区域位于与所述基板的第一区域远离处，来自于所述至少一个计量头分配喷嘴的所述第一流体沉积物被沉积在所述第一区域；以及至少一个导管，将所述计量头与位于所述计量站远处的所述至少一个涂覆器头流体连接，使得为所述至少一个涂覆器头分配模块提供来自于所述计量站的所述多个泵中的第二个泵的所述多个流体流中的第二流体流，由此所述第一和第二流体沉积物可以被沉积在基板的两个纵向间隔的区域上，所述两个纵向间隔的区域是相互远离的。 |
