包括致动器的静电马达

摘要

静电马达包括静电致动器(10)和用于通过足以驱动所述马达的能量对所述致动器进行致动的脉冲发生器(7、8)，所述脉冲发生器适于确定脉冲电压电平(U_D)和缩短的脉冲持续时间，所述脉冲持续时间与该确定的电压电平(U_D)和为驱动所述马达所需的电能之间存在函数关系，且所述脉冲持续时间与所述致动器的寄生电容(C_P)和最大电容(C_{act_n})之间存在函数关系，以便降低致动器中的静电损失。

主权项

1、一种包括致动器(10)的静电马达(5)，所述致动器(10)包括固定电极结构(24)和活动电极结构(26)，所述活动电极结构被设置以便在被施加于所述电极结构(24、26)之间的静电力的效应下从被称作静止位置的第一位置向被称作完全位移位置的第二位置进行循环移动，且随后在没有所述静电力的情况下返回所述静止位置，所述马达(5)进一步包括并励装置，所述并励装置被连接在所述固定电极结构(24)与所述活动电极结构(26)之间，从而使得一旦所述活动电极结构(26)到达所述完全位移位置，则对所述电度结构进行循环放电从而去除所述静电力，且所述马达(5)进一步包括发生器(8)，所述发生器(8)被连接在所述固定电极结构(24)与所述活动电极结构(26)之间，从而通过在所述活动电极(26)位于所述静止位置处时开始进行充电的方式对所述电极结构进行循环充电，所述电极结构所具有的静电电容(CComb)作为所述活动电极结构(26)沿所述完全位移位置的方向行进离开所述静止位置的路径的严格递增函数而进行变化，所述马达(5)的特征在于，所述发生器(8)是用于产生确定电位差(UD)的电压发生器(8)，且其特征在于，一旦所述发生器(8)已将为了完成循环同时以足够的速度驱动所述马达(5)所需的静电能量供应给所述致动器，则所述发生器(8)停止对所述电极结构的充电，即所述发生器(8)在所述活动电极结构(26)已到达所述完全位移位置之前停止充电。