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发明名称
摘要
申请公布号 JP4440084(B2) 申请公布日期 2010.03.24
申请号 JP20040339098 申请日期 2004.11.24
申请人 发明人
分类号 G01N27/72;G11C29/56;G01N27/00;G01N27/04;G11C11/15;G11C11/16;G11C29/44;G11C29/50;H01L21/8246;H01L27/105;H01L43/08;H01L43/12 主分类号 G01N27/72
代理机构 代理人
主权项
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