发明名称 Isolation technique for integrated circuit structure
摘要
申请公布号 US3395320(A) 申请公布日期 1968.07.30
申请号 US19650482481 申请日期 1965.08.25
申请人 BELL TELEPHONE LABORATORIES, INCORPORATED 发明人 ANSLEY WILLIAM G.
分类号 H01L21/74;H01L21/761;H01L23/66 主分类号 H01L21/74
代理机构 代理人
主权项
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