把结构结合到透明工件表面的方法

摘要

本发明涉及一种把结构(M)结合到在某一波长范围内透明的工件(W)表面(O)的方法。为此，使得待结构化的表面(O)与含有目标材料的目标表面(3)接触，借助波长在某一波长范围内的激光束(2)，将能量引入透过工件(W)引入到待结构化的表面(O)和目标表面(3)的边界区域(G)的至少一个位置上，从而将目标材料沉积在待结构化的表面中和/或上的各个位置处。为此，使用脉冲重复频率大于10kHz的脉冲激光束(L)，该激光束被聚焦使得焦点定位在目标表面之上或之下，其中激光束焦点处的功率密度大于2000W/mm²。本发明还涉及一种装置(1)，其把结构(M)引入在某一波长范围内透明的工件(W)的表面(O)。

主权项

1、一种用于将结构(M)结合到在特定波长范围内透明的工件(W)的表面(O)中的方法，其中，将待结构化的表面(O)与包含目标材料的目标表面(3)接触，并且其中，借助于波长处在所述特定波长范围内的激光束(2)，能量被引导穿过所述工件(W)至少在一个位置处到达所述工件(W)的待结构化的表面(O)与所述目标表面(3)的边界区域(G)中，从而在相关位置处，目标材料被沉积在待结构化的表面(O)中，其特征在于：使用脉冲重复频率大于10kHz的脉冲激光束，其中所述脉冲激光束被聚焦，使得焦点被定位在所述目标表面之上或之下，其中所述激光束在焦点处的功率密度大于2000W/mm2。