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发明名称 CATADIOPTRIC MICROSCOPE OBJECTIVE EMPLOYING IMMERSION LIQUID FOR USE IN BROAD BAND MICROSCOPY
摘要
申请公布号 EP2165230(A1) 申请公布日期 2010.03.24
申请号 EP20080768462 申请日期 2008.06.12
申请人 KLA-TENCOR CORPORATION 发明人 ARMSTRONG, JOSEPH, J.
分类号 G02B17/00;G02B17/08;G02B21/04 主分类号 G02B17/00
代理机构 代理人
主权项
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