SUBSTRATE MOUNTING TABLE AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME, SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS, AND FLUID SUPPLY MECHANISM,申请号KR20070127552-传众专利搜索

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发明名称	SUBSTRATE MOUNTING TABLE AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME, SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS, AND FLUID SUPPLY MECHANISM
摘要
申请公布号	KR100948984(B1)	申请公布日期	2010.03.23
申请号	KR20070127552	申请日期	2007.12.10
申请人		发明人
分类号	H01L21/68;H01L21/67	主分类号	H01L21/68
代理机构		代理人
主权项
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