薄膜电晶体及其制造方法及具有此薄膜电晶体之显示基板

摘要

一种薄膜电晶体，系包含有一沉积于一基板上之半导体图案以及一具有导电或非导电特性之半导体图案部份；一配设于半导体图案部份侧面上之反扩散部份，系用以防止金属离子沿着半导体图案部份扩散；一覆盖于半导体图案上之第一绝缘层，其具有使半导体图案部份第一区域暴露之第一接触孔，及使半导体图案部份第二区域暴露之第二接触孔；一配设于第一绝缘层上之闸极；一覆盖于此闸极上之第二绝缘层，其具有使第一区域暴露之第三接触孔，及使第二区域暴露之第四接触孔；一形成于第二绝缘层上并连接至第一区域之源极；及一形成于第二绝缘层上并连接至第二区域之汲极。

主权项

一种薄膜电晶体，其包含有：一半导体图案，系包含有一源极区域、一汲极区域、一通道区域及一反扩散部份；一第一绝缘层，系配设于该半导体图案之上；一闸极，系配设于该半导体图案之上；一第二绝缘层，系配设于该闸极之上；以及一源极与一汲极，系配设于该第二绝缘层之上并分别与该源极区域及该汲极区域相连接；其中该反扩散部份系配设为减少金属粒子从该源极或汲极向该通道区域扩散，其中该反扩散部份具有一宽度大于该通道区域宽度之结构，其中该通道区域依照一外部电压之供应/切断而具有一导电特性或具有一非导电特性。