蚀刻一大型ＬＣＤ玻璃的方法及蚀刻设备

摘要

本发明揭示一种用于蚀刻TFT LCD玻璃的蚀刻设备内之玻璃匣，其具有四个封闭型侧壁240(而非开放型)，一或多对固定于该匣内侧壁的侧边部分支撑构件210，其上具有相隔预定距离的复数个‘C’形凹槽211，如此可插入并固定复数个玻璃300，复数个防碰撞构件230，其固定在该侧边部分支撑构件210上方的该‘C’形凹槽之间，并且彼此相隔预定距离，如此可避免插入该匣的相邻玻璃300之间发生碰撞，以及一下部分支撑构件220，在其下半部固定一防震构件222。此外，根据本发明的一蚀刻设备使用该玻璃匣，并且包含一配置在一蚀刻浴或冲洗浴下半部的气泡产生设备400，以及一配置在该气泡产生设备400的多孔板500。

主权项

一种用于蚀刻大型LCD玻璃的蚀刻设备，包含一用于插入该LCD玻璃的匣、一用于蚀刻插入该匣的玻璃之蚀刻浴、一用于清洁该已蚀刻玻璃的冲洗浴以及一用于将已清洁玻璃乾燥的乾燥浴，其中该匣包含：一玻璃固定装置，用于插入并固定该玻璃；一防撞装置，用于保持该插入的玻璃间之空间；一气泡提供装置，用于在配置于该蚀刻浴与该冲洗浴内的该匣下半部产生并提供一气泡；以及其中该玻璃固定装置包含一侧边部分支撑装置，用于将该玻璃的一侧边部分插入并固定在一'C'形凹槽内。