| 发明名称 |
三氧化二钇烧结体、静电夹头及三氧化二钇烧结体之制造方法 |
| 摘要 |
提供耐蚀性与机械强度优良、调整过体积电阻率之三氧化二钇(yttria)烧结体。 |
| 申请公布号 |
TWI322139 |
申请公布日期 |
2010.03.21 |
| 申请号 |
TW095129890 |
申请日期 |
2006.08.15 |
| 申请人 |
碍子股份有限公司 |
发明人 |
相原靖文;松田弘人 |
| 分类号 |
C04B35/50;H01L21/683;H02N13/00 |
主分类号 |
C04B35/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
洪澄文 |
| 主权项 |
一种三氧化二钇烧结体，其特征在于：包含5~40体积%之碳化矽以及作为主成分的三氧化二钇，在室温时之体积电阻率为在1×101~1×1017Ω．cm的范围内。 |
| 地址 |
日本 |
